除泡機的新型真空壓力控制系統主要包括高壓氣源、電動調節(jié)閥、真空壓力傳感器、雙向控制器和真空泵等，其真空壓力控制基于動態(tài)平衡法，即通過調節(jié)進入和流出除泡烤箱的氣體流量實現真空和壓力的準確控制。當進行真空控制時，自動減小進氣調節(jié)閥開度但增大出氣調節(jié)閥開度;當進行壓力控制時，自動增大進氣調節(jié)閥開度但減小出氣調節(jié)閥開度。由此可實現真空壓力的全量程自動平滑控制。

　　此新型的除泡機真空壓力控制系統主要有以下功能和特點：

　　(1)采用通徑為10mm的快速電動球閥，工作壓力1MPa以下，極小的真空漏率，開關速度小于7秒，0~10V模擬控制信號，這樣既可以快速抽取真空和加載高壓氣體，又能進行快速調節(jié)實現真空壓力的穩(wěn)定控制。

　　(2)采用了真空和壓力雙傳感器，可以覆蓋真空壓力的全量程測量和控制。

　　(3)采用具有分程控制功能的雙向PID控制器實現進氣和出氣閥門的同時調節(jié)，可在真空壓力全量程范圍內進行自動控制。

　　(4)PID控制器具有雙傳感器自動切換功能，可根據控制要求自動選擇相應的傳感器。

　　(5)PID控制器具有可編程功能，可支持20條工藝曲線。控制器具有PID參數自整定功能，支持20組分組PID參數。

　　(6)PID控制器具有RS485通訊接口和標準的MODBUS協議，可與上位機連接。自帶的控制軟件可直接運行控制器，并設置、數字顯示、曲線顯示和存儲控制器參數的變化過程。

臺灣ELT作為除泡機品類開創(chuàng)者，深耕半導體先進封裝技術20余年，專注解決半導體先進封裝中的氣泡問題，提供多種制程工藝中的氣泡整體解決方案。對Mini/Micro LED、芯片貼合Die Attached、灌注灌封IGBT Potting、底部填膠underfill、點膠封膠Dispensing、OCA lamination等工藝擁有成熟應用經驗。想了解更多ELT除泡機信息，請在線或來電咨詢15262626897